Микросистемотехника (MEMS)
Как было сказано выше, MEMS разделяют на два типа: сенсоры и актуаторы.Типичный MEMS-акселерометр сегодня обходится в несколько долларов за штуку.Зачастую, современные MEMS-гироскопы устроены идентично акселерометрам.Помимо конденсаторных датчиков, существуют MEMS-акселерометры, использующие иные принципы.Есть и более необычный тип MEMS-акселерометров - термальные датчики ускорения.Так что и тут работает MEMS.Струйная печать может служить не только конечной целью производства MEMS, но и промежуточным этапом.Микросистемотехника может применяться для решения задач в абсолютно любой области.MEMS - датчики и актуаторы используются нами каждый день, к примеру в мобильных телефонах.Обычно MEMS делят на два типа.