Легирование полупроводниковых материалов

Для изготовления многих полупроводниковых приборов необходим легированный материал.Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и металловедение.Медведев С.А. Введение в технологию полупроводниковых материалов.Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов.Остробородова В.В. Основы технологии и материаловедения полупроводников.Рассмотрим особенности легирования кристаллов в процессе их выращивания из жидкой фазы.Общие принципы такого легирования заключаются в следующем.При выращивании же легированных кристаллов все происходит по-другому.Возможны различные случаи взаимодействия примесей при совместном легировании.Там, где это возможно, ею заменяют процессы диффузионного легирования.