Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690

В дипломном проекте предлагается оптимизация процесса плазмохимического травления.Для получения анизотропии процесса травление стимулируют бомбардировкой положительными ионами.Клавиша START - предназначена для запуска установки в процессе.В экспериментальной части описаны результаты исследований по оптимизации режима травления.1 Сущность плазмохимического травления.3 Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления.Рисунок 2.1 - Внешний вид установки LAM690.Не требует обработки после процесса травления.Плазмохимический травление плазменный фотолитография.При плазменном травлении в качестве рабочих используются галогеносодержащие газы.