Жидкостное химическое травление

Практические аспекты жидкостного химического 23.Общие принципы кинетики травления.Феноменологический механизм травления.Травление многослойных структур.Другие характеристики травления.3 показана компенсация размера окон в шаблоне для разных степеней анизотропии травления.Влияние ориентации на травление кремния.Из резиста в подложку с помощью изотропного травления.Необходимый при изотропном и анизотропном (D/L>2) травлении.С точки зрения химии процесс травления можно представить схемой.