Исследование процессов 3D-структурирование в электронной литографии

В первой части описывается новый метод 3D-структурирования, основанный на электронной литографии.Создание же штампа осуществляется методом электронной литографии.Технология электронной литографии развивается на протяжении длительного времени.В первой главе описываются методы электронной литографии и типы применяемых резистов.Электронные Резисты И Их Применение Для 3d- Структурирования.Одной из основных методик создания микро- и нано- структур является электронная литография.Результаты исследования зависимости контрастности резиста от температуры проявителя.Излагаются основные принципы и характеристики проявления электронных резистов.Такой материал называют электронным резистом.Электронные резисты делятся на позитивные и негативные.