Литография

Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия.Процесс изготовления фотошаблонов важен для оптической литографии.В настоящее время оригинал фотошаблона изготавливается методом ЭЛ-литографии.Перспективы развития фотолитографии.Внутренние и взаимные эффекты близости являются главными проблемами систем фотолитографии.Фотолитография, как таковая, останется основным инструментом при массовом производстве СБИС.Литография Высокого Разрешения В Технологии Полупроводников.Существует 3 типа фотолитографических устройств.Литография высоких энергий делится на.Стимулы развития литографических.